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RTO焚燒爐半導(dǎo)體廢氣處理

來源:未知 發(fā)布日期:2022-07-26 15:37關(guān)注次數(shù):
 RTO焚燒爐半導(dǎo)體廢氣處理 
1、 半導(dǎo)體廢氣處理組件
半導(dǎo)體工業(yè)廢氣的主要成分是有機(jī)廢氣和酸堿廢氣。有機(jī)成分:非甲烷碳?xì)浠衔?、氮氧化物、二氧化硫等;酸堿成分:氨、硫酸霧、氟化物、氯化物、氯等。
2、 工業(yè)排放標(biāo)準(zhǔn)
3、 半導(dǎo)體廢氣處理方法
一般半導(dǎo)體行業(yè)廢氣處理的解決方案如下:
(1) 預(yù)處理階段:采用噴淋塔對廢水進(jìn)行預(yù)處理,去除粉塵和溶于水的有害氣體。
(2) 主要處理階段:這一階段,較為常用和有效的方法有:紫外線光解、生物過濾分解、焚燒和催化燃燒。